第十三章老富兰克林的悲剧ຕ
当张亿诚完成他的专利ำ申请自己所需要准备的文件资料的书写后，天几乎都已经黑了下来，外面已经华灯初上，远处偶尔传来辆汽车奔驰而过的呼啸声，打个电å话叫了份外卖吃完又开始继续研究那ว堆银行的资料，在早先大致选定的银行间的资料中逐字逐句的去理解，消เ找出对自己最有利ำ的那家
7：数据总线处理器模块主要解决内部数据总线冲突问题，对不同的模块的总线请求给予回应
我虽然也但是我自己有自己้的个限度，比如你说8๖0年你就开始装图形操作系统，这可能吗？我在文中也提到了79年希捷世界第家硬盘公司才成立，80่年最大的硬盘是5๓b的，个系统要占用多少空间？图形操作系统需要多少空间？至少几十bຘ，你怎么เ装进去还有图形界面需要的在73的时候在施ๅ乐实验室就诞生了，你要推图形系统你绕不过施乐
尽管弗兰克很愤怒shubaojie，怒shubaojie气已经快完全控制ๆ了他，他深深做了个深呼吸很快回复了管的冷静睿智，然后再次的示ิ意大家安静，“好吧，既然大家都不认可微型机市场那么下面我们有请我们的首席执行总裁é欧shubaoinfo博尔先生来给我们朗读份报告，我消大家不要过于惊讶”说完，弗兰克走下主席台，在下面的会议桌靠近主席台的位置坐了下来
欧shubaທoinfo博尔整理了下他的文件，然后快步走上了主席台，他现在是会议室里的焦点，大家都注视着他，欧shubaoinfo博尔神情严肃：“女士们先生们下面请允许我浪费大家点小小的时间来读份来自微型机行业的业绩报告：让我们先来看看目前市场上销售最火爆的苹果公司的微型机业务，截至到去年年底，苹果公司共销售了43万台微型机，当然包括早期的苹果1苹果2，而现在5๓月份的时候他们又在加利福尼亚的阿纳海姆举ะ行的全国计算机展销会上推出了他们的新า产品苹果3，经过我们对“计算机园地”的全美最大的计算机商店的暗中ณ调查，发现苹果虽然高达4500่美元但是已๐经十分的抢手，所以必估计到现在苹果的3系列微型机至少售出了6๔0万台，根据公司业务部门的估算，他们的销售额至少达到了12亿美元，目前他们还不是上市公司，所以他们的财务报表没有披露，想想他们才是个仅仅成立4年的新公司，让我们在来看看第二的唐迪公司，在79年他们的r－80微型机销售量竟然也达到了惊人的40่万台，而科莫多和阿塔里和唐迪公司的销售几乎部分上下，想想伙计们，这是多么เ大的块市超上面这些数据还仅仅只是微型机市场上的4๒级知名的公司，如果算上大量的中小型微型机公司，我想微型机市场年至少有100亿的规模，值得高度关注的是这个市场还在以20的速度增长，他们这些公司从市场上赚取了大把大把的钞票，令人惊讶的是我们公司到目前为ฦ止竟然对此还无动于衷，天哪，那可都是利润啊”此时的会议室鸦雀无声，大家都被这系列ต的数据惊呆了，都在仔细的回忆刚才欧shubaoinfo博尔先生所说的每句话每个数据
等到大家把这么震撼性的消เ息消化完毕，欧shubaoinfo博尔先生又接着说道：“在两年前，我们公司的管理层曾批准过个微型机产品的开发方แ案以满足小企业或者个ฐ人的会计系统需要，我们甚至还把这个项目生产出来的产品命名为r或者叫系统2当时为了节约成本，我们采用了英特尔公司的8080่微处理器，所以几个月后我们的硬件设计人员就完成了设计，可是到เ现在已经是两年后的今天了，我们的r所依赖的工ื作软件竟然还没有开发出来，而且我们高达2๐万美元的售价与苹果3的4๒5๓00美元相比无论是性能还是价格完全的没有任何可比性，换句话说我们没有任何的竞争优势所以在这次会议上我请求各位bຘ公司的精英们要对微型机的市场要有足够的重视，下面请弗兰克先生继续主持会议”个个的数据显然把下面的帮高层轰炸的体无完肤，后面的话更是让b的精英们脸上阵阵的发红
弗兰克卡里先生从新站在主ว席台上，眼睛缓缓的从前到后又从后到前扫视了遍fanwai又边，在确认大家没有别的表示后以种低沉且缓慢到几乎个字个字吐出来般的声音说道：“对于欧shubaoinfo博尔先生在刚才的讲话，我表示很遗憾ย，面对如此块巨大的市场而我们全体管理层却装聋作哑我不能容忍，这几乎等于我们把只会生金蛋的母鸡拱手让给别人这是不可原谅的决策错误，但是好在还为ฦ时不晚，那ว么现在还有没有继续反对微型机项ำ目的？”弗兰克又在次的看着下面的b的精英们，在没有任何人站起来后，继续说道：“那ว么现在让我们对公司开展微型机的项目进行表决，请反对该项目的举ะ手并说出你的理由á”没有那个笨蛋在这个时候还在为b发展微型机项ำ目表示怀疑ທ
“很好，既ຂ然大家都对微型机项目没有异议，那么下步将是如何做，我认为ฦ通用系统部ຖ负责这个项ำ目将是比较合适的，直以来通用系统部都在负责所有非大型机的业务包括r，他们对这个项ำ目将最具有发言权”弗兰克其实在这之前就与通用系统部门的负责人进行过沟通，特别ี是通用系统部实验室主任比尔洛沃先生，大家也都认为ฦ有必要近入微型机市场通用系统部是b公司在佐治亚州亚特兰大市成立的个新部门，还没有阿克蒙市总部这么เ严重的官僚作风，它是弗兰克为了防备bຘ被司法部分拆而准备的分公司弗兰克把b所有的非大型机业务都放在了这个部ຖ门
这个时候通用系统部的负责人站了起来，“我认为我们目前近入微型机市场最好的方法是通过收购现在市场上的几家微型机公司可以达到เ快速近入市场的目的，当然为了收购苹果唐迪科莫多或者阿塔里最好不过他们都拥有丰富的微型机开发经验，通过收购我们只需要把他们的微型机贴上我们b公司的商标配上我们的外围设备起出售，最是简单不过”
弗兰克和大家听到这里都觉的很有道理，不自觉的点了点头，通用系统部门的负责人得到เ了鼓舞继续说道：“我个人还认为除了苹果公司其余的都可以考虑，为什么不考虑苹果，我想大家也明白，他们的产品现在如此的火爆他们会不会出售还要两说，再次就算收购他们话费的代价也是不可想象的，对于我们下季度的业绩报表可能不是很好看；二，我们到现在还在受着司法部ຖ的垄断法的制约，如果我们在收购微型机市场第的苹果公司不知道我们会不会真的被分拆”
通用系统部的负责人很明显是个ฐ谨慎思虑周全的人，他的意见又被大家接受了弗兰克考虑了会才又说道：“没错，按照上面所说我们收购苹果是最合适的，但是又不是最合适的，按照ั我们b公司“追求第”的企业文化，收购其他的微型机公司不符合我们的理念”左思右想了会后继续说道“所以我决定以公司自己的力量研制ๆ出有竞争力的微型机产品，我们需要微型机，我们需要我们b公司自己的微型机”这个时代b公司是骄傲的，他们主宰计算机市场几十年，他们是计算机规则的制定者，所以大家也同样觉的弗兰克说的很有道理，就这样通用系统部负责人提出的收购方แ案被否决了
这时同样来自通用系统部的实验室主任比尔洛沃站了起来“弗兰克先生请允许我说句，以目前公司这种情况我对依靠自己้的实力开发微型机所有的软硬件方案持怀疑态度，我们自己开发款自己的产品，从处理器芯片到เ存储器电å路板操作系统等等是多么困难的件事，而且要想使新产品不重蹈r的覆辙我们还必须为它配上合适的能够满足个人用户使用的各种应用软件，这将更加大开发的难度和增加开发的时间，也许等我们的新า产品开发出来后就已经严重落后于市场的需求了，根据我跟人的估算这时间至少是3－4年”比尔洛沃的发言无异于给刚刚提起兴趣准备开发微型机的管理委员会泼了盆冷水
弗兰克皱了皱眉头，他同时也明白比尔洛沃的暗里的意思就是目前bຘ公司在座各位的官僚主义严å重，力量拧成不了股绳，弗兰克自己้也知道这种状态，但是想改变不是时半会就可以的这事弗兰克想到既ຂ然比尔提出了这个问题，也许他有其他的迂回的解决办法也说不定，于是说道“那么你有别的行的通的建议吗？”
对此比尔洛沃显的胸有成竹“我的建议其实很简单，我们适当的选择公司意外的软件硬件供应商进行合作，就像r样我们的处理器就选择了英特尔的808๖0，我们这次可以把合作对象扩大点，那么我们就可以尽早的推出我们公司的微型机产品了”大家这时也觉的这是目前为止最具有可能性的建议
“说说你的想法，有什么计划全部ຖ说出来”弗兰克作为董事长和会议主持人鼓励着他说
“我的想法是这样的，大部分的硬件我们自己可以生产的我们自己้设计，软件开发与目前市场上的最流行的软件商进行合作，比如我们可以采用英特尔的8086，它是目前市场上的最先进的处理器，我们以这个核心开发周边的硬件，我们不需要考虑应用软件的问题，只需要派遣部分人找目前流行在微型机上的软件公司洽谈，让他们做好移植到我们产品上的工作就可以，这样我认为ฦ通过协作我们会节约大量的时间”
通用系统部ຖ的负责人站了起来“比尔，我想问下，如果按照你说的来做，那么我们的经费将从那里来？还有销售渠道如何打开，你知道的我们的大型机直是有政府军队和研究机构固定的客户群，还有很重要的点是售后服务我们应该如何做，你也知道的维护台计算机的安全无故障的运行是多么麻烦的件事”当听说弗兰克把开发微型机的任务准备交给通用系统部的时候，通用系统部ຖ负责人就想好了上面的收购计划，但是很不幸没否决，他此时觉的通用系统部的项ำ目实在太多了，他从根本上是不愿意接受微型机开发项目的
“经费我想这对于我们b来说几乎不是问题”大家听到这里哄笑了下，确实b此时年营业额上百亿美元，这么เ点用于开发微型机的小钱对于b就是九牛毛“那么销售方แ面，我们为ฦ什不能学苹果唐迪他们呢，和计算机园地和比特这样的连锁经销商建立合作关系？我也仔细的研究过这几家公司的微型机的售后服务，可能大家还不知道，像这样的微型机产品由于基本上采用了不会损耗的半导体硅，基本不需要维护，另外因为这些微型机产品价格如此之低，所以用户也不会像要求大型机那ว样的售后服务”比尔洛沃几乎把所有能想到เ的都想全了，管理委员会几乎想不出什么像样的反驳理由
弗兰克提出了最后个ฐ问题“那ว么，比尔按照你的计划你个ฐ月内能出样机吗？然后年内能完成新า型微型机的研制吗？”
“完全没有任何问题，尊敬的先生”
听到เ确信的回答弗兰克大声的说道“现在作为公司董事长和首席执行官的我批准公司的微型机开发计划，这个ฐ计划ฐ由比尔洛沃负责，建立个特别开发小组直接向我汇报工作的进度；洛沃先生你的这个小组必须在30่天内拿出微型机的样机展示给大家看，我对这次的开发计划定名为ฦ象棋行动”
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第十八章制版
第十八章制版
北美旧fqxs金山国际智能化公司内，新装ณ修的办公室宽敞而明亮，排排的办公桌井然有序的安放好，此时还没有太多的工ื作人员，所以显的有那么点空旷
此时在二楼原先的老富兰克林的办公室内只有迪尔博士张亿诚和老富兰克林三人，尽管现在的天气已经很热，但是对自律非晨的三人来说依然身职业化的西装ณ皮鞋加衬衣领带的装束，当然外面的空调在毫不酮的呼呼呼的把室内的影响人情绪的闷热往外抽走
“亲爱的布鲁斯ั，现在可以把你的宝贝芯片设计方案拿出来了，我们下步要开始建立我们的流水线了，你可能不太明白，要想我们的产品顺ิ利的走下生产线，我需要你设计的芯片的各个设计参数，他包括设计用的层次定义设计规则晶体管电阻电å容等元件和通孔焊盘等基本结构的版图，还有与设计工ื具关联的设计规则ท检查参数提取和版图电路对照用的文件，我想这些你应该已๐经准备好了”
“是的博士，这些文件我都已经全部准备好了，边说边从旁้边的从自己家搬来的保险柜里取出来个公文包，打开公文包里面的文件整齐的以个ฐ目录个目录的钉在起放着
迪尔博士看到眼前这个年轻人如此的年轻却工作如此的有条理且勤奋和认真，也让他有些惊讶和佩服，他想不出他对于工作为什么เ如此的执着和老到，想想自己在他这个年轻的时候大概也许可能还在为能从高中毕业远离父母而沾沾自喜，或者在酒吧和朋友或者想着和那个ฐ女孩约会，而眼前这个年轻人生活中似乎ๆ除了工作和研究几乎没有别ี的节目“真的是个ฐ让人敬佩的可爱的小家伙”迪尔博士心里暗自嘀咕了句
“我们要想生产出达到要求而合格的芯片产品，我们首先必须进行项非常重要的工ื作：制ๆ版”迪尔博士现在有些欣赏这个年轻人了，好为ฦ人师的他所以准备教教眼前这个ฐ优秀的年轻人当然这是在自己和自己的小杰克好朋友的眼中ณ看了眼张亿诚，看到เ张亿诚在聚精会神的听着自己的说话，迪尔接着说道：“制版就是要产生套分层的版图掩模，为将来我们进行图形转移，也就是即将设计的版图转移到晶圆上去做好准备，这就像做衣服，首先做个耐后面的全都照着这个耐生产样，自然过程不会样，但是原理是个ฐ意思”
迪尔博士边说把张很大的白纸，规格应该达到了50่50่，铺在平整而光洁的会议桌上，把自己从张亿诚的设计图纸中提取的参数版图按照比例画在这张巨大的纸上，层掩模画种图案，迪尔博士在丝不苟的画来画去，不时的喊张亿诚和老富兰克林帮忙拿下工具或者读接下来的参数是多少，尽管空调在好不酮的工作着，但是迪尔博士依然渐渐的额头开始冒汗，细密的汗珠几乎快布满了他的前额张亿诚连忙递过去张扭干了水的湿毛巾擦干了汗水又继续开始忙碌起来虽然在前世张亿诚在芯片企业呆过段时间但是他除了知道大致的流程外，具体的细节自己还真不清楚，当时自己在的智能化研究所开发的自己需要的芯片基本上都是直接拿到芯片代工厂直接流片出来，生产过程基本不参与
迪尔博士的犹如艺术般的工ื作让张亿诚真是大开眼界，经过大约个礼拜的反复加班加点的工ื作后，副巨型图终于完成这个时候迪尔博士又拿出了个ฐ照相机，把照相机固定在支架上，同时把这副巨型图小心的固定在块平整而光滑的正方形的铁板上，然后把铁ກ板竖起装上个可以前后左右上下调节的支架，经过反复的调整，终于迪尔博士确认此时的纸和水平面已๐经完全的成90่度角，迪尔博士又在旁边开始调节他的照ั相机来确蹦出的照片正好是个正方แ形
“布鲁斯，这个过程看懂了吗？这个ฐ步骤叫做初缩，你要记住这个步骤千万不能出现点儿的差错，不然当你流片生产时会发现全是次品”迪尔博士边在那反复的调整还不忘提醒张亿诚
“是的，博士，真没想到这个过程是如此的复杂，我会谨记你的教诲的”这也许就是精密工ื业的所谓差之ใ毫厘繆以千里吧，张亿诚这样想到
终于迪尔博士觉得达到了理想的目的后按下了快门，然后迪尔博士又把初缩版装入另外部ຖ步进重复照相机中ณ，进步的缩鞋达到设计要求的尺寸，这个时候迪尔博士拿过块早就准备好的铬板，步幅的印到铬板上，形成了个阵列
“，我的小布鲁斯你认识我手上的这个东西吗？”迪尔举了举ะ手上的铬板问道
“嗯，根据气味和表面的颜色应该是铬吧，下面的应该是石英钵”张亿诚根据自己้的判断ษ说道
“是的，你很聪明，这确实是块铬板也就是掩模，它是用石英钵做成的均匀平坦的拨片，表面上在涂ิ层600่800厚的铬，使它的表面光洁度更高”迪尔博士对于张亿诚能回答出他的提问感到很高兴，他觉的张亿诚是真真正正的学习，任何勤奋好学，而又积极上进的学生都是导师喜欢的所以现在迪尔几乎由于杰克的关系而把张亿诚当成了自己้的学生“在这种接触式曝光方法中，掩模和晶圆尺寸相同，不过晶圆是圆的，而掩那方的”博士边做着手边上的工作还边不忘提醒张亿诚
“其实这种方แ法是有很多弊端，我以前在德仪的时候就在研究如何改进制版的工艺，不过还没等我研究出更好的方法，我就选择了退休，这次如果不是杰克的大力推荐我想我现在可能还在家里陪着家人”说道这里迪尔博士笑了起来然后又接着说“让我和你说说这种方法的弊端，，图画在纸上，因为热胀冷缩受潮起皱铺不平等会很容易引起失真；二，初缩时，照ั相机会有失真；三，步进重复照相时，同样有失真；四，从掩模到晶圆上城乡，还有失真所以到现在每块芯片上集成的晶体管也才几万个，如果更多，以目前的这种工ื艺几乎不可能ม了”说完，迪尔博士还叹了口气，也许是在为自己在工ื艺上没有取得更大突破而遗憾吧
今天就这些吧，实在撑不住了，天六千多字对我实在是个大挑战
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第十九章气相成底膜和光刻๑胶
第十九章光刻胶ด当迪尔博士把制版工作完成后，这个时候工作场地完全的转移到เ了经过重新改造过的以前的老实验室里，这是是个黄铯的后的房间大安装ณ的都是能发出黄光的灯，这里完全按照迪尔博士的设计进行的改造，只是缩小版的，基本的仪器设备样不缺，这个ฐ个不足500平米的实验室仅仅设备的投入费用就达到了2๐00万美元，当然这还是经过精打细算的结果，以张亿诚目前的财力也只能做到这步“知道我为什么把这个房间全装上发黄光的灯吗？”张亿诚摇了摇头，“因为借下来的工作中ณ涉及到的光刻๑胶对大部分的可见光都很敏感，只有黄光不敏感，这个这个ฐ步骤必须ี在黄光实验室进行”
“那么我们制版完成后，下步我们将进行更精细的工作，光刻，我把光刻分为气相成底膜旋转涂胶ด软烘干对准曝光曝光后烘培显影坚模显影后检查这8个ฐ主要步骤”三人换好工作服带上可以把头发和耳朵等全部遮住的帽子，然后口罩和大边框的平镜装备上走进了实验室，这样的实验室不允许有点灰尘，甚至出现头皮碎屑呼出的水蒸气等都不行
“在集成电路的制ๆ造过程中，光刻是多次应用的非常重要的工序”说到这里博士扬了扬手中ณ的已经完成前道工ื序的掩模继续说道“光刻的作用就是把我手上的这块掩南的图形转换成晶圆上的器件三维结构张亿诚跟着点了点头表示ิ明白
博士接着把手中通过特殊镊子夹起的晶圆放到清洗机器中排排的细小器皿中，打开电路开关器皿自动缩进机器，微小的电机声传来“这步的清洗很重要主要是除去表面的沾污物，这台机器可以对晶圆进行超声波和离子水冲洗，虽然这些晶圆刚完成氧化和淀ຖ积操作，处于洁净的状态，但是在转移的过程中还是有可能出现污物附着在表面，沾污物会造成光刻胶与晶圆的粘附性差，这样在显影和刻蚀中容易引起光刻胶ด的漂移问题，光刻胶漂移就会导致底层薄膜的钻蚀直接的后果就是光刻胶涂布的不平坦和光刻胶ด中产生针孔，试验的产品就会失败”博士指了指面前的正在发出微弱响声的机器说道这些晶圆都是采购市场上的高纯硅工厂已经完成了硅棒外延长生长切割然后磨片抛光后的半成品当然这些还是很简单的处理工艺在现在这个ฐ时代张亿诚也只有凑合着用外延长工ื艺的重要性其实张亿诚很明白，奈何现在没技术二没资金，所以也只有先从外面采购，幸好这里是硅谷，到处是硅制品的工ื厂，可怜的老富兰克林现在已经沦落到成了生产学员加跑腿的非职业化采购了
电机声响了会自动退下来，这个ฐ时候迪尔博士操作着旁้边的机械臂把事先放进去清洗的成排的晶圆小心翼翼的取了出来放入旁边的自动脱水烘箱中ณ，然后博士把烘箱的温控系统的温度调到了2๐00摄氏度，时长个小时，也就是说这些清洗后的晶圆要在自动烘箱中的200摄氏度的高温下烘干小时“让我来和你说说这步的作用布鲁斯，这是个ฐ脱水干烘体的充满惰性气体的封闭腔相对湿度必须控制ๆ在50以下，通过长达小时的烘干，我们的目的是除去吸附在晶圆表面的大部分水汽防止在接下来的步骤中因为水汽而引起光刻胶薄膜出现缺陷，这对成品的良品率非常重要”博士边说边走下台机器旁，把这步需要的前期准备参数调整好“这是涂光刻๑胶机器，请操作的时候万分小心，他中间的转盘工作时可以达到几千转每分钟็的速度
张亿诚跟在后面非超力的记忆着博士的每个ฐ操作步骤和所说的话，等到เ这台涂光刻胶机器完全准备就绪又过了会，自动脱水温控烘箱终于完成它的任务
等到晶圆完全的冷却后，博士立即用瓶子上写有六甲â基二硅胺烷的液体对这些晶圆进行成膜处理，边做边说道“这些六甲â基二硅胺烷可以影响晶圆表面使之疏ຕ离水份子，同时形成对光刻胶材料的结合力，我们现在用的是最基本的浸ฤ泡处理方แ法”然后又连忙操纵着机械臂把完成处理的晶圆放到涂光刻胶的机器内的个ฐ圆盘上，调整好晶圆的位置后，博士在这个ฐ像个大号塑料桶样的机器旁按了个按钮后接着说道“我们要想光刻胶能够均匀的涂ิ抹在晶圆上，我们必须ี要先固定好晶圆，它的下面其实是真空吸盘”然后博士把这个机器的盖子盖上，盖子上有个ฐ伸出来的管子博士接着说“这个ฐ管子连接着的是过滤器和精准滴注器，我们的光刻胶首先要通过这根管子近入过滤器进行再次的过滤和通过滴注器定量滴注到下面被真空吸盘固定住的晶圆中央”
张亿诚看到เ博士把罐大致标注着正胶的很小的管口接到涂光刻胶ด机器顶上伸出来的管子上，“博士，那是正胶ด，那么是不是还有负胶翱”张亿诚好奇的问道
“是的，你说的很正确，光刻๑胶目前市场上有2种，也就是你说的正胶ด和负胶，现在我必须和你说说光刻胶，让你对它有基本的概念，它是种有机化合物，在触光曝光后会发生光固化反应，使得这种材料的物理性能，特别ี是溶解性亲合性等发生非常明显的变化这样在显影液中的光刻胶ด已经曝光的部分会被溶解掉，而没有曝光的部ຖ分在显影液中ณ几乎ๆ又不溶解；即可以做晶圆上的图形模版也就是掩膜版转移到晶圆上的图形而且在后面的工艺中还可以保护下面的材料，它的主要成分就是感光树脂ฦ增感剂溶剂和些添加剂”真是步步皆学问艾张亿诚感叹
“那ว么正负光刻胶又有那些区别呢？他们主要又有那些物理特性？”张亿诚看着博士接着问
博士知道眼前这个ฐ学生是个勤奋好学的好学生，前面当他看到张亿诚的那份集成电路的设计图时他确信这是个ฐ天才的设计师，但是对于工艺技术很显然还是个门外汉，这个问题博士思考了会，他在想着怎么组织语言能够更简洁明了的说明白“通常来说他们主要有4点区别：，分辨率，相对来说正光刻胶ด的分辨率要优于负光刻胶ด，市场上非常好的负光刻胶的分辨率也才能达到2μ；二，负光刻๑胶在曝光后会硬化而变得不可溶解，显影后图像会与我们原先掩膜版的图形相反；三，正光刻胶曝光时会软化，变得可溶解，显影后图形与原先掩膜版图形是个样子的；最后点其实是正光刻๑胶的缺点，正光刻๑胶的粘附性相比负光刻๑胶较差”
“至于物理特性”停顿了下博士又拿了罐全新的光刻胶指着商标上标注的特性开始解释说道“你可以从下面几个方面进行理解，分辨率他是区别晶圆表面上两个或者更多临近特征图形的能力，芯片内核本身是个个ฐ的三维图形的；至于对比度是光刻๑胶上从曝光区到非曝光区过度的陡度；还有敏感性就是晶圆表面光刻๑胶中产生个良好图形所需要的定波长光的最小能量值般单位是每平方แ厘米，提供给光刻胶的光能ม量值通常成为ฦ曝光量；下面的粘滞性是对于液ຂ体光刻胶来说其流动特性的定量指标，粘滞性增加，光刻胶流动的趋势变鞋反之相反；粘附性与粘滞性虽然字之差但是他们却是2个ฐ概念，粘附性指的是描述光刻胶ด粘于衬底的强度；抗蚀性，是我们后续的蚀刻程序中保护衬底表面的能力；表面张力，你可以这样理解，他是液体中将表面份子拉向液体主ว体内的分子间吸引力；至于存储和传送就更好理解，是关于光刻胶本身的最长闲置期限和存储温度，通俗的说就是在什么样的温度条件下的保质期；最后还需要考虑的是光刻胶本身的纯度”说完博士长长的出了口气，尽管隔着口罩，张亿诚也样知道要像把这么复杂的问题说明白不是件简单的事，看旁边的老富兰克林的样子也样是副有听没有懂的表情
第二十章过程